因業(yè)務(wù)調(diào)整，部分個人測試暫不接受委托，望見諒。

檢測項目

硅切割液核心檢測涵蓋三大類共12項關(guān)鍵指標(biāo)：化學(xué)成分分析包含聚乙二醇主成分純度（≥99.5%）、游離酸含量（≤0.3%）、抗氧化劑濃度（0.5-1.2%）；物理性能測試涉及動態(tài)粘度（25℃下40-60 mPa·s）、密度（1.10-1.15 g/cm3）、電導(dǎo)率（≤50 μS/cm）；污染物控制包含鐵離子（≤5 ppm）、銅離子（≤2 ppm）、懸浮顆粒粒徑分布（D50≤5 μm）及微生物菌落總數(shù)（≤100 CFU/mL）。

檢測范圍

本檢測體系適用于多晶硅錠線切割液、單晶硅棒金剛線切割液及碳化硅專用切割液三大類產(chǎn)品：

1. 油基型切割液：重點監(jiān)控礦物油基礎(chǔ)油的芳烴含量（≤1%）與閃點（≥150℃）

2. 水基型切割液：需測定表面活性劑HLB值（12-14）與消泡劑持久性（≥72 h）

3. 再生切割液：增加總有機碳（TOC≤500 mg/L）與CODcr（≤1000 mg/L）指標(biāo)

特殊應(yīng)用場景包含8英寸/12英寸晶圓切割液需額外測試納米磨料粒徑一致性（CV≤8%）與Zeta電位（-30~-50 mV）。

檢測方法

依據(jù)GB/T 31413-2015及SEMI C63-0218標(biāo)準建立分析方法：

? 電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP-MS）測定金屬離子：采用內(nèi)標(biāo)校正法（Rh為內(nèi)標(biāo)），檢出限達0.01 ppb

? 激光粒度分析法測定懸浮顆粒：馬爾文Mastersizer 3000執(zhí)行Mie散射理論計算

? 氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用（GC-MS）分析有機組分：DB-5MS色譜柱（30 m×0.25 mm×0.25 μm），程序升溫50-300℃

? 旋轉(zhuǎn)流變儀測試觸變性：測量剪切速率0.1-1000 s?1范圍內(nèi)的粘度變化曲線

微生物檢測參照ISO 16266:2006標(biāo)準，采用膜過濾法進行菌落培養(yǎng)計數(shù)。

檢測儀器

實驗室配置A級精度設(shè)備系統(tǒng)：

? 安東帕MCR302流變儀：配備錐板測量系統(tǒng)（直徑50 mm/1°錐角），溫控精度±0.1℃

? 賽默飛iCAP RQ ICP-MS：具備碰撞反應(yīng)池技術(shù)（KED模式），質(zhì)量數(shù)范圍2-260 amu

? 島津GCMS-QP2020 NX：電子轟擊源（EI）70 eV，掃描速度20,000 amu/s

? 梅特勒FE28 pH計：復(fù)合玻璃電極，自動溫度補償范圍0-100℃

? 布魯克S8 TIGER XRF光譜儀：波長色散型探測器，元素檢測范圍Be-U

輔助設(shè)備包含Millipore超純水系統(tǒng)（電阻率18.2 MΩ·cm）及ESCO二級生物安全柜。

檢測流程

1、咨詢：提品資料(說明書、規(guī)格書等)

2、確認檢測用途及項目要求

3、填寫檢測申請表(含公司信息及產(chǎn)品必要信息)

4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測)

5、收到樣品，安排費用后進行樣品檢測

6、檢測出相關(guān)數(shù)據(jù)，編寫報告草件，確認信息是否無誤

7、確認完畢后出具報告正式件

8、寄送報告原件